產品介紹
在多晶矽生產過程中，三氯氫矽（SiHCl3）合成、氫還原和四氯化矽（SiCl4）氫化等工序中，副產的尾氣，含有氫氣（H2）、氯化氫（HCl）、二氯氫矽（SiH2Cl2）、三氯氫矽（SiHCl3）和四氯化矽（SiCl4）的尾氣。我公司針對此種尾氣氣源進行實驗研究，開發了氯矽烷和氯化氫專用吸附劑及配套的吸附分離工藝，可以將尾氣中的氯矽烷、氯化氫以及氫氣進行回收，淨化後尾氣中的氯矽烷含量降低到ppm乃nai至zhi色se譜pu檢jian測ce不bu出chu，實shi現xian氯lv矽gui烷wan的de循xun環huan利li用yong，降jiang低di了le原yuan料liao消xiao耗hao，提ti高gao企qi業ye的de經jing濟ji效xiao益yi。采cai用yong該gai技ji術shu後hou，隻zhi需xu對dui流liu程cheng適shi當dang調tiao整zheng，就jiu可ke將jiang氫qing氣qi中zhong的de微wei量liang組zu分fen如ruCO、CO2、CH4、N2、O2等微量雜質脫除，大大提高氫氣品質，使多晶矽的產品質量穩定提高。
公司可根據用戶目前裝置實際情況，可對現有工藝進行局部改進或全新設計，達到理想的淨化回收效果。
該技術具有完全的自主知識產權，效果優於進口技術，可為用戶帶來經濟效益、環保效益。
產品特點
1. 工藝流程簡單、運行穩定；
2. 吸附劑分離係數高，氯矽烷回收率高；
3. 撬塊設計，裝置占地小；
4. 氯化物、氫氣純度高、質量穩定；
5. 比吸收法及低溫法，腐蝕小，投資省；
6. 可以實現全自動運行，遠程監控，無人值守；
7. 可根據用戶實際情況，進行工藝定製設計。
